Handbook of Sputter Deposition Technology,, Kiyotaka Wasa
Автор: Depla Название: Reactive Sputter Deposition ISBN: 3540766626 ISBN-13(EAN): 9783540766629 Издательство: Springer Рейтинг: Цена: 32142.00 р. Наличие на складе: Есть у поставщика Поставка под заказ.
Описание: In this valuable work, all aspects of the reactive magnetron sputtering process, from the discharge up to the resulting thin film growth, are described in detail, allowing the reader to understand the complete process.
ООО "Логосфера " Тел:+7(495) 980-12-10 www.logobook.ru