Chemical-Mechanical Polishing of Low Dielectric Constant Polymers and Organosilicate Glasses, Christopher Lyle Borst; William N. Gill; Ronald J.
Автор: Paul S. Ho; Jihperng Leu; Wei William Lee Название: Low Dielectric Constant Materials for IC Applications ISBN: 3642632211 ISBN-13(EAN): 9783642632211 Издательство: Springer Рейтинг: Цена: 22203.00 р. Наличие на складе: Есть у поставщика Поставка под заказ.
Описание: Low dielectric constant materials are an important component of microelectronic devices. Topics include: Organic dielectric materials, Inorganic dielectric materials, Composite dielectric materials, Metrology and characterization techniques, Integration, Reliability.
ООО "Логосфера " Тел:+7(495) 980-12-10 www.logobook.ru