Joachim Fr?hauf Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique 9783642060489

Варианты приобретения

Цена: 16977.00р.
Кол-во:
Наличие: Поставка под заказ. Есть в наличии на складе поставщика.
Склад Америка: Есть
При оформлении заказа до: 2025-07-28
Ориентировочная дата поставки: Август-начало Сентября
При условии наличия книги у поставщика.

Добавить в корзину

в Мои желания

Автор: Joachim Fr?hauf
Название: Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique
ISBN: 9783642060489
Издательство: Springer
Классификация:

Промышленная химия

Производство керамики и стекла

Электроника

Электронные устройства и материалы

Микроволновая техника

ISBN-10: 364206048X
Обложка/Формат: Paperback
Страницы: 222
Вес: 0.34 кг.
Дата издания: 13.10.2010
Язык: English
Размер: 234 x 156 x 13
Основная тема: Materials Science
Подзаголовок: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures
Ссылка на Издательство: Link
Рейтинг:
Поставляется из: Германии
Описание: The idea for this manual was created by the author and Birgit Hannemann (now Professor at the University of Applied Sciences, Bremen, Germany) as an internal catalogue of results of several years of investigations at the Chemnitz University of Technology, Germany. At this base supplying investigations and the elabo- tion of the manuscript were supported by the Stiftung Industrieforschung, Bonn, Germany. In the course of this the coworkers of the author Eva Gartner, Steffi Kronert and Cornelia Kowol were directly involved. All the SEM pictures result from preparations performed at the Centre of - crotechnologies at the Chemnitz University of Technology (Head: Prof. Thomas Gessner). The author and his coworkers wish to express their thanks to Wolfgang Brauer (mask design), Norbert Zichner (processes), Iris Hobelt (SEM pictures) and the student Karin Preiler (manuscript layout support). In particular thanks are due to the Stiftung Industrieforschung for the financial support and to the Springer V- lag for the edition of this manual.

Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique, Joachim Fr?hauf