Microlithography, Smith, Bruce W.

Автор: Bruce W. Smith, Kazuaki Suzuki
Название: Microlithography Science &Tech
ISBN: 1439876754 ISBN-13(EAN): 9781439876756
Издательство: Taylor&Francis
Цена: 25265.00 р.
Наличие на складе: Невозможна поставка.
Описание: Like the bestselling original, this third edition of Microlithography is a self-contained text detailing both elementary and advanced aspects of submicron microlithography, offering a balanced treatment of theoretical and operating practices.

Автор: Nonogaki, Saburo
Название: Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
ISBN: 0824799518 ISBN-13(EAN): 9780824799519
Издательство: Taylor&Francis
Рейтинг:
Цена: 39811.00 р.
Наличие на складе: Нет в наличии.

Автор: Glendinning, William B.
Название: Handbook Of Vlsi Microlithography
ISBN: 0815512813 ISBN-13(EAN): 9780815512813
Издательство: Elsevier Science
Рейтинг:
Цена: 7409.00 р.
Наличие на складе: Есть у поставщика Поставка под заказ.

Описание: Offers a look at the entire technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings - including optical lithography, electron beam, ion beam, and x-ray lithography.